製品情報｜詳細
高温循環装置
ヒートエクスチェンジャー
TEX-25A
商品コード： 0031547-000
フッ素系熱媒体専用、加熱温度コントロールに特化した循環装置。
主な用途
●半導体製造装置等の加熱温度コントロール●化学製品の生産システムの加熱温度コントロール
ダウンロードファイル（有用情報）
総合カタログより ヒートエクスチェンジャー TEX-25A (PDF)特長
フッ素系熱媒体専用、高温度領域をコントロール
フッ素系熱媒体専用の設計により、＋70℃~＋200℃の幅広い高温域での正確な加熱温度コントロールが可能です(冷却用途には使用できません)。液漏れの心配がないポンプ、制御はインバーター
循環ポンプはマグネットカップリングタイプのシールレスポンプを使用しているため、液漏れがありません。短時間の降温が可能
冷却コイルに一次冷却水を循環することで、メンテナンス時などに短時間で温度を下げることが可能です。仕様
| 型名 | TEX-25A |
|---|---|
| 使用温度範囲 | +70℃～+200℃ |
| 温度調節精度 | PID制御、±0.5℃(*1) |
| ヒーター出力 | 2.5kW |
| ポンプ能力 | 流量：14L/min(0.2MPa、循環液温＋150℃) モーター出力：1.1kW |
| 昇温／降温時間 | 昇温時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷却水OFF) 降温時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷却水ON) 冷却水条件：約8L/min at +20℃(*2) |
| 安全器／安全機能 | 漏電ブレーカー、高温、温度異常、ポンプ異常、液面低下、液面上限、液補充警告 |
| 入出力機能 | 温度モニター出力、リモート温度設定入力、リモートON/OFF信号入力、リモートリセット信号入力、安全器作動信号外部出力 |
| 適用熱媒体(循環液) | GALDEN HT270 または HT200（ただし混入不可） |
| 循環液タンク容量 | 約3L(＋リザーブタンク：約7L) |
| 配管接続口径(循環液出入口、一次冷却水出入口) | Rc1/2、Rc1/2 |
| 外形寸法 | 406×761×924Hmm |
| 本体質量 | 約115kg |
| 所要電源 | 三相AC200V・50/60Hz・15A |
| 運転電流 | 12A |
| 価格 | お問い合わせください |
| (*1)循環流量が5L/min以上、装置単体で無負荷の場合です。 | |
| (*2)装置単体で無負荷の場合です。 | |
| ●本製品の使用環境温度範囲は、+7℃～+35℃です。 | |
| ●本製品は大型で重量もあるため、搬送、設置などの費用は別途必要です。 | |
外形図
別売部品
