製品情報｜詳細

CH-15000W

半導体部品の加工ステージの温度管理

下記の仕様をベースとし、カスタマイズいたします。お気軽にご相談ください。なお、冷凍機出力がカタログ表記以外のものでも製作可能です。

冷凍機からの排熱がないため、室内への影響がありません。なお、一次冷却水およびその配管工事(別途費用)が必要です。

各種の安全器を装備、作動時にはランプが点灯してお報せします(信号出力あり)。

型名	CH-15000W
使用温度範囲	+5℃～+25℃
温度調節精度	冷凍機ON-OFF制御、±2.0〜3.0℃(*1)
冷却能力［kW］(50/60Hz、循環液温：+20℃)	46.4/49.0(*2)
冷凍機(水冷式)出力	7.5kW×2
ポンプ能力(50/60Hz)	お問い合わせください
安全器／安全機能	漏電／過電流ブレーカー、過負荷防止、高低温、冷媒高低圧、圧縮機過熱防止、水位低下、反相リレー、冷凍機過熱防止、安全器作動モニター
水槽容量（80％水位)	お問い合わせください
所要一次冷却水量	お問い合わせください
配管接続口径(循環液出入口、一次冷却水出入口)	お問い合わせください
外形寸法	お問い合わせください
本体質量	お問い合わせください
所要電源	三相AC200V・50/60Hz
運転電流	お問い合わせください
価格	お問い合わせください
(*1)温度性能は環境温度、熱負荷、循環配管距離等の影響により維持できない場合があります。
(*2)環境温度が+30℃以下での能力です。
●水冷式は冷凍機用の一次冷却水を必要としますので、所定流量が確保できることをご確認ください。
●標準品は循環液に純水を使用できません。
●循環液に水処理剤等を混入される場合はご相談ください。
●本装置は大型で重量もあるため、搬送・設置などの費用は別途必要です。